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電子級氨水 - 氨含量的測定

更新日期:2025-02-04   瀏覽量:568


T/CSTM 01148-2024 電子級氨水

范圍
本文件規(guī)定了電子級氨水的分級與命名、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存和隨行文件、安全信息。
本文件適用于以工業(yè)級液氨和超純水為原料,經(jīng)純化制得的電子級氨水。主要用作集成電路(半導(dǎo)體)、印刷電路板等制程用化學(xué)品。
CAS號:1336-21-6
分子式:NH3·H2O
相對分子質(zhì)量:35.05(按2022年國際相對原子質(zhì)量)

術(shù)語和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。

分級及命名
電子級氨水分為I級、II級和III級共3個等級。I級電子級氨水標(biāo)記為:UP-I;II級電子級氨水標(biāo)記為:UP-II;III級電子級氨水標(biāo)記為:UP-III。
注:UP-II級和UP-III級主要用于半導(dǎo)體常規(guī)制程及高制程面板行業(yè),UP-I級主要用于半導(dǎo)體先進制程行業(yè)。

技術(shù)要求
電子級氨水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的規(guī)定。
表1.jpg

表1續(xù).jpg

表1續(xù)-1.jpg

試驗方法
氨含量的測定
方法提要
采用電位滴定法,用鹽酸標(biāo)準滴定溶液滴定樣品中的氨。
試劑和材料
鹽酸標(biāo)準滴定溶液:c(HCl)≈0.5mol/L。
儀器和設(shè)備
分析天平:感量為0.0001g。
電位滴定儀:按 GB/T 9725-2007,5, 儀器和裝置中規(guī)定,或具備同等構(gòu)造與精度的儀器。電極:按 GB/T 9725-2007 中規(guī)定的復(fù)合電極或玻璃-飽和甘汞電極。
測定步驟
量取60mL水于燒杯中,稱取約1g的樣品(精確至0.0001g),用鹽酸標(biāo)準滴定溶液滴定,電位隨滴定劑變化率dU/dV最大點為其滴定終點。
結(jié)果計算
氨(NH3)含量(w),按式(1)計算, 數(shù)值均以%表示:
式1.jpg
式中:
V ——滴定試驗溶液所消耗鹽酸標(biāo)準滴定溶液的體積數(shù)值,單位為毫升(mL);
C ——鹽酸標(biāo)準滴定溶液濃度的準確數(shù)值,單位為摩爾每升(mol/L);
M ——氨水摩爾質(zhì)量的數(shù)值,單位為克每摩爾(g/mo])[M(NH3)=17.03];
m ——試樣質(zhì)量的數(shù)值,單位為克(g)。


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